BluGlass委托的獨立公司-Williams & Kelly (WWK)對使用RPCVD（遙控等離子化學氣相沉積）在玻璃襯底上沉積的GaN LED與MOCVD法制備的LED進行了建模比較，發(fā)現(xiàn)前者將外延片的生產成本降低了48%，單個LED的成本也下降了10%。
由于RPCVD使用氮代替氨氣并將藍寶石襯底變成玻璃襯底，使得材料和一次性費用減少了70%。而RPCVD本身工作溫度比MOCVD低，這意味著七年壽命周期后其運行成本將比MOCVD少800萬美元。
但RPCVD法在芯片級實現(xiàn)的成本節(jié)約卻不太明顯。假定藍寶石上GaN （GaN-on-sapphire）外延片和玻璃板上GaN（GaN-on-glass）外延片的后端加工成本相同，WWK的模型顯示RPCVD法制備的 LED芯片成本僅比傳統(tǒng)藍光LED芯片低10%。（http://compoundsemiconductor.net/articles/news/11/4/4/1） |
